Galden HT - Dung dịch truyền nhiệt cho ngành sản xuất chất bán dẫn

Tìm hiểu về Galden HT

Galden HT là dòng chất lỏng truyền nhiệt gốc PFPE (Perfluoropolyether) do Syensqo phát triển. PFPE là hợp chất ete được flo hóa hoàn toàn, chủ yếu gồm các nguyên tố carbon, flo và oxy. Nhờ liên kết carbon–flo có độ bền cao, vật liệu này có khả năng chịu nhiệt, chống oxy hóa và chống lại sự tấn công của nhiều loại hóa chất.

Galden HT được thiết kế làm chất lỏng truyền nhiệt cách điện và cũng có thể được sử dụng trong một số ứng dụng kiểm tra linh kiện điện tử. Dòng sản phẩm này sở hữu nhiều đặc tính nổi bật như:

• Độ ổn định cao về hóa học, nhiệt và khả năng chống oxy hóa.
• Điện trở suất cao, giúp cách điện hiệu quả.
• Không có điểm chớp cháy, điểm bắt cháy hoặc tự bốc cháy.
• Áp suất hơi thấp, hạn chế bay hơi và giảm thất thoát chất lỏng.
• Sức căng bề mặt thấp, hỗ trợ truyền nhiệt hiệu quả.
• Tương thích với nhiều loại kim loại, nhựa và vật liệu đàn hồi (elastomer).

Theo Syensqo, các sản phẩm Galden HT có nhiệt độ sôi từ 55°C đến 270°C, trong khi dải nhiệt độ làm việc điển hình của toàn bộ dòng sản phẩm có thể đạt khoảng -70°C đến 290°C, tùy thuộc vào từng cấp sản phẩm và điều kiện vận hành của hệ thống.

Galden HT cải thiện hiệu suất trong sản xuất chất bán dẫn như thế nào?

Xu hướng thu nhỏ kích thước chip và phát triển các cấu trúc bán dẫn ba chiều (3D) đòi hỏi khả năng kiểm soát nhiệt độ chính xác hơn trên các thiết bị xử lý wafer, hệ thống plasma, thiết bị kiểm tra và dây chuyền đóng gói. Hiện tượng bay hơi của chất lỏng, tính dẫn điện, ăn mòn hoặc các phản ứng hóa học có thể làm giảm độ ổn định của quy trình, tăng thời gian ngừng máy và gia tăng nguy cơ nhiễm bẩn.

Galden HT của Syensqo là dòng chất lỏng truyền nhiệt PFPE có tính trơ về mặt hóa học và khả năng cách điện, được phát triển cho các môi trường sản xuất chất bán dẫn. Nhờ khả năng truyền nhiệt ổn định trong dải nhiệt độ rộng. Sản phẩm này giúp nâng cao tính nhất quán của quy trình sản xuất, tăng độ tin cậy của thiết bị và cải thiện chất lượng sản phẩm bán dẫn.

Kiểm soát nhiệt độ ảnh hưởng như thế nào đến hiệu suất sản xuất chất bán dẫn?

Nhiệt độ ảnh hưởng trực tiếp đến tốc độ phản ứng hóa học, hoạt động của plasma, quá trình hình thành màng mỏng, độ ổn định kích thước cũng như các thông số điện của linh kiện bán dẫn. Chỉ một thay đổi nhỏ về nhiệt độ tại bệ giữ wafer (wafer chuck) hoặc khu vực kiểm tra cũng có thể làm thay đổi biên dạng khắc, độ đồng đều của lớp phủ, độ chính xác của quá trình kiểm soát điểm kết thúc (endpoint control) và kết quả kiểm tra sản phẩm.

Nhờ khả năng kiểm soát nhiệt độ ổn định, Galden HT góp phần nâng cao hiệu quả trong nhiều công đoạn sản xuất bán dẫn, bao gồm:

• Điều chỉnh nhiệt độ wafer và bệ giữ wafer.
• Quy trình khắc khô (Dry Etching) và xử lý plasma.
• Các công nghệ lắng đọng màng mỏng CVD và PVD.
• Kiểm tra bằng đầu dò (Probe Testing), thử nghiệm Burn-in và thử nghiệm sốc nhiệt (Thermal Shock Testing).
• Đóng gói bán dẫn và đánh giá độ tin cậy của sản phẩm.

Việc duy trì nhiệt độ ổn định đặc biệt quan trọng trong các quy trình yêu cầu wafer không phát sinh vấn đề, đồng thời giúp thiết bị vận hành an toàn trong môi trường sử dụng khí có tính ăn mòn hoặc ở nhiệt độ xử lý cao.

Những đặc tính giúp Galden HT phù hợp với ngành bán dẫn

Galden HT được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu khắt khe của môi trường sản xuất bán dẫn với nhiều đặc tính nổi bật như:

Theo dữ liệu của dòng sản phẩm Galden HT, độ bền điện môi (dielectric strength) đạt khoảng 40 kV với khe hở thử nghiệm 2,54 mm và điện trở suất thể tích (volume resistivity) khoảng 1,5 × 10¹⁵ Ω·cm.

Khi sử dụng Galden HT trong sản xuất chất bán dẫn, cần tuân thủ các thông số trong Tài liệu dữ liệu kỹ thuật (Technical Data Sheet - TDS) của từng cấp sản phẩm, đồng thời kiểm tra khả năng tương thích với các vật liệu của hệ thống như gioăng (seals), ống dẫn (hoses), đệm kín (gaskets) và điều kiện vận hành thực tế.

Câu hỏi thường gặp

1. Galden HT là gì?

Galden HT là dòng chất lỏng truyền nhiệt gốc PFPE của Syensqo, được thiết kế cho các ứng dụng yêu cầu kiểm soát nhiệt độ chính xác trong ngành bán dẫn và điện tử.

2. Galden HT được sử dụng trong những ứng dụng nào?

Galden HT được sử dụng trong hệ thống chiller, làm mát wafer, quy trình Dry Etching, CVD, PVD, kiểm tra linh kiện, Burn-in, Thermal Cycling và hàn pha hơi (VPS).

3. Galden HT có dẫn điện hoặc dễ cháy không?

Không. Galden HT có khả năng cách điện cao và không cháy, phù hợp với các hệ thống yêu cầu độ an toàn và độ tin cậy cao.

4. Làm thế nào để chọn đúng loại Galden HT?

Việc lựa chọn phụ thuộc vào nhiệt độ làm việc, yêu cầu của hệ thống và khuyến nghị trong Tài liệu dữ liệu kỹ thuật (TDS) của từng cấp sản phẩm.

5. Khi sử dụng Galden HT cần lưu ý điều gì?

Nên kiểm tra khả năng tương thích với vật liệu của hệ thống và tuân thủ hướng dẫn của nhà sản xuất để đảm bảo hiệu quả vận hành.

6. Vì sao nên chọn Galden HT cho ngành bán dẫn?

Trong nhiều ứng dụng công nghệ cao, Galden HT có thể là lựa chọn phù hợp nhờ khả năng truyền nhiệt ổn định, cách điện, trơ hóa học và không cháy. Galden HT giúp kiểm soát nhiệt độ ổn định, giảm bay hơi, hạn chế phản ứng hóa học và nâng cao độ tin cậy của quy trình sản xuất.

Tổng kết

Galden HT giúp duy trì khả năng kiểm soát nhiệt độ ổn định, cách điện hiệu quả và đáp ứng nhiều ứng dụng trong sản xuất, kiểm tra và đóng gói chất bán dẫn. Với nhiều cấp sản phẩm khác nhau, Galden HT phù hợp cho các hệ thống làm mát wafer, xử lý plasma, CVD, PVD, kiểm tra linh kiện, thử nghiệm Burn-in, chu trình nhiệt (Thermal Cycling) và đóng gói bán dẫn tiên tiến.

Để được tư vấn lựa chọn Galden HT phù hợp và hướng dẫn ứng dụng, vui lòng liên hệ Công ty TNHH Hicotech Việt Nam – nhà cung cấp dầu mỡ bôi trơn hiệu suất cao và dung môi chuyên dụng chính hãng. Khi được lựa chọn và sử dụng đúng cách, Galden HT giúp nâng cao tính ổn định của quy trình, tăng thời gian vận hành của thiết bị và cải thiện chất lượng sản phẩm bán dẫn

Thông tin liên hệ

Hotline / Zalo: 0945 261 931

WhatsApp: 0945 261 931

Email: sales@hicotech.com.vn