Kiểm tra độ kín khí tuyệt đối- Hermetic Seal Testing là gì

Hermetic Seal Testing (kiểm tra độ kín khí tuyệt đối) là phương pháp kiểm tra nhằm xác định xem một sản phẩm hoặc linh kiện — thường là các thiết bị điện tử, vi cơ điện (MEMS), hoặc bao bì y tế — có bị rò rỉ không khí hoặc hơi ẩm ra ngoài hoặc vào bên trong hay không.

Từ “hermetic” nghĩa là kín khí hoàn toàn, tức là không có hơi ẩm, không khí, khí gas hoặc chất lỏng nào có thể lọt vào hoặc ra khỏi thiết bị.

Các loại kiểm tra độ kín khí (Hermetic Testing)

Như tên gọi đã gợi ý, sự khác biệt giữa rò rỉ nhỏ (fine leaks) và rò rỉ lớn (gross leaks) là sự khác biệt về định lượng.

Để xác định kích thước của lỗ rò, người ta tính thể tích không khí rò rỉ qua lỗ mỗi giây, với chênh lệch áp suất bằng 1 atm.

• Các tốc độ rò rỉ lớn hơn 1x10⁻⁵ atm-cc/giây được xem là rò rỉ lớn (gross leaks).

• Các tốc độ rò rỉ thấp hơn 1x10⁻⁵ atm-cc/giây được xem là rò rỉ nhỏ (fine leaks).

Thông thường, kiểm tra rò rỉ nhỏ sử dụng chất lỏng, còn kiểm tra rò rỉ lớn sử dụng khí dò (tracer gases). Tuy nhiên, cũng có một số quy trình sử dụng heli làm khí dò ngay cả trong các bài kiểm tra độ kín khí siêu nhỏ.

Ngoài ra, còn có một loại kiểm tra khác sử dụng thuốc nhuộm thấm (penetrant dye) để phát hiện cả rò rỉ lớn và rò rỉ nhỏ. Trong bài kiểm tra rò rỉ nhỏ bằng phương pháp này, người ta cũng sử dụng buồng áp suất, như đã được đề cập trước đó.

Các quy trình kiểm tra độ kín khí phổ biến nhất hiện nay được hướng dẫn bởi Tiêu chuẩn quân sự Hoa Kỳ (United States Military Standard) — một cơ quan quy chuẩn của quân đội Mỹ, thường được cộng đồng quốc tế lấy làm mẫu trong các thử nghiệm về vật liệu.

Cụ thể, các tiêu chuẩn được áp dụng phổ biến nhất là:

• MIL-STD-202-112

• MIL-STD-883, phương pháp 1014

Ứng dụng điển hình

• Vi mạch tích hợp (IC)

• Cảm biến MEMS

• Bao bì y tế (ống tiêm, lọ thuốc)

• Thiết bị trong môi trường chân không hoặc áp suất cao

• Công nghiệp hàng không, vũ trụ, quốc phòng